전기화학적 마이크로머시닝 기술을 이용한 균일한 니오븀 표면 에칭 연구

Title
전기화학적 마이크로머시닝 기술을 이용한 균일한 니오븀 표면 에칭 연구
Other Titles
Homeogenous Etched Pits on the Surface of Nb by Electrochemical Micromachining
Authors
최진섭
Keywords
electrochemical etching, Nb etching, micro-contact printing, epoxy
Issue Date
2014-02
Publisher
공업화학
Series/Report no.
공업화학; 25권 1호 pp 53~57
Abstract
본 연구에서는 micro-contact printing을 통하여 니오븀 호일 표면 위에 균일한 에칭 pits를 형성하였다. 균일한 보호층을 형성하고자 전해연마의 효과를 확인하였으며, 기존의 O2 플라즈마 공정 없이 손쉽게 균일한 에칭 pits를 형성시킬 수 있는 조건을 확인하였다. 메탄올 혼합 전해질을 사용하여 10 min 동안 에칭을 진행한 결과 니오븀 호일 표면 위에 지름과 간격이 각각 10 µm와 5 µm로 잘 정렬된 에칭 pits를 관찰하였다.
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/39089
ISSN
1225-0112
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Chemical Engineering (화학공학) > Local Access Journal Papers, Reports(화학공학 논문, 보고서)

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