DC/RF 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Al:ZnO 투명전도성 산화막의 광학적 특성

Title
DC/RF 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Al:ZnO 투명전도성 산화막의 광학적 특성
Other Titles
Optical properties of the Al:ZnO transparent conducting oxide films prepared by DC/RF Magnetron Sputtering Method
Authors
신백균
Issue Date
2008
Publisher
대한전기학회
Series/Report no.
2008 대한전기학회 하계학술대회 논문집 pp 1254~1255
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/34354
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Electrical Engineering (전기공학) > Journal Papers, Reports(전기공학 논문, 보고서)
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