새로운 반응장치를 이용한 기능성 플라즈마 중합막의 제작

Title
새로운 반응장치를 이용한 기능성 플라즈마 중합막의 제작
Other Titles
Formation of the functional plasma polymerized thin films by a new type reactor
Authors
이덕출
Issue Date
1998
Publisher
한국진공학회
Series/Report no.
韓國眞空學會誌 ; Vol.7 No.1
Abstract
본 연구에서는 방전내에서 활성화된 라디칼의 반응을 촉진시키는 풀라즈마중합을 통하여 기능성 유기박막을 합성하기 위해 새로운 형태의 유동가스형 반응장치를 개발하였다. 중합을 위해서 스티렌 모노머 를 사용하였으며 분자구조와 분자량 분포에 대한 분석을 행하였다. 제작된 플라즈마중합막은 우수한 성능의 전자빔 레지스트로서 평가되었다. 새로운 폴라즈마 반응장치를 이용하여、제작된 박막의 감도는 습식공정에 의해 제작된 레지스트의 감도에 비해서 향상되었으며 깨끗한 패턴이 성공적으로 제작되었다.
URI
http://uci.or.kr/G300-j12258822.v7n1p72
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/29565
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Electrical Engineering (전기공학) > Local Access Journal, Report (전기공학 논문, 보고서)

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