사파이어 기판위에 증착된 ZnO 박막의 기판온도와 산소 가스량에 따른 특성

Title
사파이어 기판위에 증착된 ZnO 박막의 기판온도와 산소 가스량에 따른 특성
Other Titles
Effect of Variation of Substrate Temperature and Oxygen Gas Flow of the ZnO Thin Films Deposited on Sapphire
Authors
이천
Keywords
Pulsed Laser deposition, PLD, XRD, PL
Issue Date
2005
Publisher
한국전기전자재료학회
Series/Report no.
Journal of KIEEME ; Vol.18 No.7
URI
http://uci.or.kr/I410-ECN-0102-2009-560-001114015
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/29561
ISSN
1226-7945
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Electrical Engineering (전기공학) > Local Access Journal, Report (전기공학 논문, 보고서)

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