RF 플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드 박막의 합성

Title
RF 플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드 박막의 합성
Other Titles
Synthesis of Diamond Thin Films by RF Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition
Authors
이덕출
Keywords
RF 플라즈마, CVD, 다이아몬드 박막
Issue Date
1998
Publisher
한국전기전자재료학회
Series/Report no.
전기전자재료 ; Vol.11 No.7
URI
http://uci.or.kr/I410-ECN-0102-2009-560-007352862
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/29462
ISSN
1226-7937
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Electrical Engineering (전기공학) > Local Access Journal, Report (전기공학 논문, 보고서)

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