Zr기지 벌크비정질 합금의 나노복합박막 형성에 관한 연구

Title
Zr기지 벌크비정질 합금의 나노복합박막 형성에 관한 연구
Authors
김대웅
Keywords
zr기지벌크비정질합금의나노복합박막형성에관한연구
Issue Date
2012
Publisher
인하대학교
Description
제 1장 서 론 1 제 2장 이론적 배경 4 2.1 박막형성 기술 5 2.1.1 표면 코팅 기술 5 2.1.2 표면개질 기술개발 방향 6 2.1.3 결정상/비정질상 나노복합코팅피막 형성기술 7 2.2 벌크 비정질 합금 8 2.2.1 벌크 비정질 합금의 정의 8 2.2.2 벌크 비정질 합금의 특성 10 2.2.3 벌크 비정질 합금의 연구동향 12 2.3 방전플라즈마 소결법 14 2.3.1 방전플라즈마 소결법의 원리 및 특징 14 2.3.2 방전플라즈마 소결법을 이용한 벌크비정질 합금의 소결기술 17 2.4 물리적 기상증착법 (PVD : Physical Vapor Deposition) 19 제 3장 실험방법 24 3.1 합금설계 및 제조 25 3.1.1 비정질 합금 설계 및 제조 25 3.1.2 비정질 합금의 특성평가 26 3.2 비정질 합금분말 제조 29 3.3 스퍼터링용 타겟제조 32 3.3.1 방전플라즈마 소결법을 이용한 스퍼터링 타겟제조 32 3.3.2 스퍼터링 타겟의 물성평가 33 3.4 Zr 기지 벌크비정질 합금의 비정질 박막 형성 34 3.4.1 비정질 박막 형성 34 3.4.2 비정질 박막의 특성평가 35 3.5 Zr 기지 벌크비정질 합금의 질화물 나노박막 형성 36 3.5.1 질화물 나노박막 형성 36 3.5.2 질화물 나노박막의 특성평가 37 제 4장 결과 및 고찰 38 4.1 비정질 합금설계 39 4.1.1. Zr-Cu 2원계 합금의 비정질 형성능 39 4.1.2. Zr-Al-Cu 3원계 합금 및 Mo을 첨가한 4원계 합금의 비정질 형성능 42 4.2 비정질 합금 분말 및 타겟 제조 및 특성평가 48 4.2.1 비정질 합금 분말 제조 48 4.2.2 비정질 합금 분말 특성평가 50 4.2.2.1 비정질 분말의 미세조직 50 4.2.2.2 비정질 분말의 열분석 53 4.2.3 비정질 분말을 이용한 스퍼터링 타겟 제조 55 4.2.4 스퍼터링 타겟의 특성평가 57 4.2.4.1 스퍼터링 타겟의 기계적 강도 57 4.2.4.2. 스퍼터링 타겟의 미세조직 59 4.3 비정질 합금의 비정질막 형성 60 4.3.1 스퍼터링 조건에 따른 비정질 막의 특성평가 60 4.3.1.1 비정질 막의 미세조직 분석 60 4.3.1.2 비정질 막의 특성평가 70 4.3.2 벌크비정질 합금계 및 형성능에 따른 비정질막의 특성평가 71 4.4 나노결정질 질화박막 형성 77 4.4.1 질화 박막의 미세조직 분석 77 4.4.2 질화 박막의 특성평가 82 제5장 결론 85 제6장 참고문헌 87
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/23349
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College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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