유기방막 소자 보호막으로서 메틸메타클레이트 중합막의 광투과도와 투습도에 관한 연구

Title
유기방막 소자 보호막으로서 메틸메타클레이트 중합막의 광투과도와 투습도에 관한 연구
Authors
송창호
Keywords
유기방막소자보호막으로서메틸메타클레이트중합막의광투과도와투습도에관한연구
Issue Date
2011
Publisher
인하대학교
Abstract
플라즈마 중합된 메틸메타 아크릴레이트 (ppMMA) 필름은 광학적 투과도를 가진 필름으로서 준비된 플라즈마 중합장비위에 MMA Monomer 를 기화시켜 만들었다. 역시 연성이 좋고 광학적 특성이 우수한 0.5mm두께의 PET위에 100nm부터 400nm 까지 Ar가스를 플라즈마 10 sccm을 흘려주고 캐패시터형 환형 전극 사이에 rf 플라즈마 150 W를 넣어주고, MMA Monomer의 안정된 증착과 증착된 막의 손실을 막기 위해 밑판 기판에 3V의 바이어스 전압을 하였다. 준비된 각각의 필름은 분투습도 측정 장비인 MOCORN 장비를 이용하여 측정, 400nm에서 5.6 g/day∘m2 의 값을 보였고 , ppMMA 중합막의 광투과도는 90% 이상의 높은 값을 보였다. 이는 OLED나 유기솔라셀 등의 유기소자 위에 같은 유기물의 수분 투과 방지막으로 제작과 PET기판위의 휘어짐이 가능한 투명기판 소자의 가능성을 보았다.
Description
CHAPTER 1. INTRODUCTION 1 CHAPTER 2. THEORY 4 2.1 Methyl Methacylate (MMA) 4 2.1.1 History 4 2.1.2 Synthesis 5 2.1.3 Processing 5 2.1.4 Properties 6 2.2 Plasma 10 2.2.1 Theory of Plasma 10 2.2.2 Types of plasma 12 2.3 Plasma polymerization 13 2.4 WVTR (water vapor transmission rate) 17 2.4.1 Definition of WVTR 17 2.4.2 Relevance to package performance 17 2.4.3 Measurement 18 2.5 AFM 19 2.5.1 Histoty of AFM 19 2.5.2 AFM probe deflection 20 2.5.3 Measuring forces 21 2.5.4 AFM Modes of operation 22 2.6 PET (Polyethylene terephthalate) 25 2.6.1 Definition of PET 25 2.6.2 General Properties 25 CHAPTER 3. EXPERIMENTS 28 3.1 Surface pretreatment and deposition process 28 3.2 Film characterization and surface morphology analysis 31 3.3 Optical transparency measurement 35 3.4 WVTR rate measurement 36 CHAPTER 4. RESULTS AND DISCUSSION 39 4.1 Result of ppMMA film deposition thickness 39 4.2 Surface analysis 43 4.2.1 AFM Data (rms of ppMMA film surface) 43 4.2.2 Surface image (by SEM Data) 47 4.2.3 FTIR Data 48 4.3 UV/Vis spectroscopy 49 4.4 WVTR rate of ppMMA film 51 CHAPTER 5. SUMMARY AND CONCLUSION 52 References 53
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/22625
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College of Engineering(공과대학) > Electrical Engineering (전기공학) > Theses(전기공학 석박사 학위논문)
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