High-k 유전박막 MIS(Metal-Insulator-Semiconductor) 커패시터의 플라즈마 Etching Damage에 대한 연구 =

Title
High-k 유전박막 MIS(Metal-Insulator-Semiconductor) 커패시터의 플라즈마 Etching Damage에 대한 연구 =
Authors
양승국
Keywords
플라즈마 손상
Issue Date
2004
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/18280
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Information and Communication Engineering (정보통신공학) > Theses(정보통신공학 석박사 학위논문)
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