유도 결합형 플라즈마를 이용한 고종횡비 산화막 식각에서의 축방향 시변 자장의 영향 =

Title
유도 결합형 플라즈마를 이용한 고종횡비 산화막 식각에서의 축방향 시변 자장의 영향 =
Authors
송호영
Keywords
플라즈마
Issue Date
2003
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/18271
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Information and Communication Engineering (정보통신공학) > Theses(정보통신공학 석박사 학위논문)
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