플렉시블 투명 전도막 응용을 위한 Doped-ZnO 박막의 제작 및 특성에 관한 연구

Title
플렉시블 투명 전도막 응용을 위한 Doped-ZnO 박막의 제작 및 특성에 관한 연구
Authors
이준표
Keywords
플렉시블투명전도막응용을위한dopedzno박막의제작및특성에관한연구
Issue Date
2010
Publisher
인하대학교
Abstract
본 연구에서는 RF magnetron sputtering법으로 기판온도 200℃에서 공정 압력(5∼20mTorr)과 산소 가스비(0∼3%)를 변화시켜가며 PES 플라스틱 기판 위에 AZO(Al:3wt%)박막을 제작하여 광학적 및 전기적 특성을 조사하였다. XRD측정을 통해 공정 조건에 관계없이 모든 AZO박막이 c-축으로 우선 성장함을 확인할 수 있었다. 박막 표면을 AFM으로 조사한 결과, 표면 거칠기 값은 공정 압력 5mTorr, 산소 가스비 3%에
Description
1. 서 론 1 2. 이론적 배경 4 2.1. 투명전도막 4 2.2. ZnO의 구조적 특성 6 2.3. ZnO의 전기적 특성 9 2.4. ZnO의 광학적 특성 12 2.5. 플라스틱 기판의 특성 17 2.6. ZnO박막의 제조 방법 22 3. 실험 방법 28 3.1. 실험 준비 28 3.2. 박막의 증착 28 3.3. 박막의 분석 및 측정 29 4. 결과 및 토의 32 4.1. 플라스틱 기판에 제작한 ZnO박막의 분석
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/18241
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College of Engineering(공과대학) > Electronic Engineering (전자공학) > Theses(전자공학 석박사 학위논문)
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