압전방법을 이용한 MEMS 액추에이터의 시뮬레이션 및 공정=

Title
압전방법을 이용한 MEMS 액추에이터의 시뮬레이션 및 공정=
Authors
강민석
Issue Date
2009
Publisher
인하대학교
Abstract
여러 제품의 소형화에 따라 다양한 분야에서 응용이 가능한 MEMS 액추에이터의 기술 개발의 필요성이 대두되고 있다. 단지 작은 소자를 만드는 것이 아닌, 다양한 형태와 크기를 갖는 소자의 동작에 대한 이해가 필요하다. 따라서 압전 물질인 PZT를 이용한 액추에이터 제작에 앞서, Finite Element Methods(FEM) 시뮬레이션을 이용하여 크기와 모양에 차이를 갖는 구조를 모델링한 후, 열적, 기계적, 전기적 방법으로 동작을 해석해보고, 가장
Description
제 1 장 서론 = 1 제 2 장 배경이론 = 3 2.1. MEMS란 무엇인가 = 3 2.2. 압전 효과 = 5 2.2.1. 압전 효과의 정의 및 원리 = 5 2.2.2. 압전 효과의 수식적 표현 = 7 2.2.3. 압전 재료의 종류 및 특성 = 10 2.3. PZT(Lead Zirconate Titanate) = 13 2.3.1. PZT의특성 = 13 2.3.2. 첨가물에 따른 효과 = 16 2.3.3. PZT 제작을 위한
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/18215
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College of Engineering(공과대학) > Electronic Engineering (전자공학) > Theses(전자공학 석박사 학위논문)
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