기판에 따른 MEMS 인덕터의 특성 연구/

Title
기판에 따른 MEMS 인덕터의 특성 연구/
Authors
박제영
Keywords
MEMS
Issue Date
2008
Publisher
인하대학교
Abstract
통신기기의 소형화를 위해서 소자들의 집적화에 대한 연구가 진행되고 있다. 하지만 실리콘 기판에서는 GHz 주파수 대역에서 high Q factor를 갖는 인덕터를 구현하는데 어렵고 이에 반해 RF 회로는 갈수록 high Q factor를 가지는 인덕터가 요구되고 있다. 그러한 문제를 극복하기 위한 방법 중에 하나로 MEMS 공정을 이용한 인덕터에 대한 연구가 활발히 진행되고 있지만 실리콘 기판 자체가 비저항이 적고 유전율이 크기 때문에 기판에서 많은 손
Description
제1장 서론 = 1 제2장 배경이론 = 3 2.1. MEMS란 무엇인가? = 3 2.2. 인덕터 = 5 2.2.1. 인덕터 동작특성 = 5 2.2.2. 인덕터 성능 파라미터 = 9 2.2.2.1 인덕턴스 = 9 2.2.2.2 Quality Factor = 13 2.2.2.3 자기공진주파수 = 15 2.2.3. 인덕터 손실 요인 = 16 2.2.3.1 도체에서 발생되는 손실 = 16 2.2.3.2 기생 커패시턴스에
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/18190
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Electronic Engineering (전자공학) > Theses(전자공학 석박사 학위논문)
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