광소자 및 투명 전도막으로의 응용을 위한 ZnO 박막의 광학적, 전기적 특성에 관한 연구=

Title
광소자 및 투명 전도막으로의 응용을 위한 ZnO 박막의 광학적, 전기적 특성에 관한 연구=
Authors
신현호
Keywords
ZnO, PL, AZO, sol-gel, PLD
Issue Date
2007
Publisher
인하대학교
Abstract
본 연구에서는 펄스 레이저 (PLD) 법을 이용하여 ZnO(zinc oxide) 박막의 발광 특성과 sol-gel 법을 이용하여 Al이 도핑된 ZnO 박막의 광학적, 전기적 특성을 조사하였다. 펄스 레이저 법으로 제작한 ZnO 박막은 sapphire 기판 위에 증착하였으며, 산소 분압 (100 mTorr~250 mTorr)과 기판 온도 (200℃~600℃)에 따른 박막의 구조적 및 광학적 특성과 Hall 효과를 조사하였다. 200 mTorr, 500℃의
Description
1. 서론 = 1 2. 이론적 배경 = 5 2.1. ZnO 박막의 구조적 특성 = 5 2.2. 전기적 특성 = 8 2.3. 광학적 특성 = 10 2.3.1. PL 특성 = 10 2.3.2. 투과도 특성 = 15 2.4. ZnO 박막의 제조 방법 = 19 2.4.1. PLD (pulsed laser deposition) 법 = 19 2.4.2. sol-gel 법 = 27 3. 실험 방법 = 32 3.1. 박막의 증착 = 32 3
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/18155
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College of Engineering(공과대학) > Electronic Engineering (전자공학) > Theses(전자공학 석박사 학위논문)
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