RF Magnetron Reactive Sputtering 법에 의한 InN 박막의 제작 및 특성에 관한 연구 =

Title
RF Magnetron Reactive Sputtering 법에 의한 InN 박막의 제작 및 특성에 관한 연구 =
Authors
임광
Keywords
Sputtering
Issue Date
2006
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/18100
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Electronic Engineering (전자공학) > Theses(전자공학 석박사 학위논문)
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