RF 마그네트론 스퍼터링 조건에 따른 AIN 박막의 배향성과 평탄성에 관한 연구 =

Title
RF 마그네트론 스퍼터링 조건에 따른 AIN 박막의 배향성과 평탄성에 관한 연구 =
Authors
이민건
Issue Date
2004
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/18004
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Electronic Engineering (전자공학) > Theses(전자공학 석박사 학위논문)
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