펄스 레이저 증착법에 의하여 연선 폴리머 기판 상에 제작된 zno박막의 특성

Title
펄스 레이저 증착법에 의하여 연선 폴리머 기판 상에 제작된 zno박막의 특성
Authors
최영진
Keywords
펄스레이저증착법에의하여연선폴리머기판상에제작된zno박막의특성
Issue Date
2010
Publisher
인하대학교
Abstract
ZnO 박막은 Ⅱ-Ⅵ족 화합물 반도체로서 UV 레이저 다이오드와 같은 단파장 광전 소자를 위한 재료로 주목 받고 있다. 최근에는 ZnO를 사용한 flexible 디스플레이에 관한 연구도 많이 이루어지고 있다. 펄스 레이저 증착법에 의해 ZnO 박막을 다양한 기판, 다양한 온도와 레이저 출력에서 제작하였다. 펄스 레이저 증착법에 의해 PMMA기판에서 제작된 ZnO 박막은 PMMA의 온도특성의 한계로 인하여 에픽텍셜한 성장이 이루어지지 않았고, PES기판에
Description
제1장 서론 1 제2장 이론적 배경 3 제3장 실험 17 제4장 실험 결과 및 고찰 22 제5장 결론 34 참고문헌 36
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/17412
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Electrical Engineering (전기공학) > Theses(전기공학 석박사 학위논문)
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