나노 스케일 반도체 공정에서 키네틱 몬테 카를로를 활용한 단순화된 붕소 원자단위 확산 공정 모델 연구 =

Title
나노 스케일 반도체 공정에서 키네틱 몬테 카를로를 활용한 단순화된 붕소 원자단위 확산 공정 모델 연구 =
Authors
유재현
Keywords
나노 스케일
Issue Date
2006
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/17355
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Electrical Engineering (전기공학) > Theses(전기공학 석박사 학위논문)
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