나노 스케일 반도체 공정을 위한 원자 단위 확산 모델에 대한 연구 =

Title
나노 스케일 반도체 공정을 위한 원자 단위 확산 모델에 대한 연구 =
Authors
서지현
Keywords
붕소 확산
Issue Date
2005
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/17335
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Electrical Engineering (전기공학) > Theses(전기공학 석박사 학위논문)
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