RF magnetron sputter에 의한 반도체 레이저용 무반사 코팅 박막(SiO2,TiO2)의 실시간 특성 =

Title
RF magnetron sputter에 의한 반도체 레이저용 무반사 코팅 박막(SiO2,TiO2)의 실시간 특성 =
Authors
양진석
Keywords
무반사 코팅
Issue Date
2004
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/17305
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Electrical Engineering (전기공학) > Theses(전기공학 석박사 학위논문)
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