기능성 플라즈마중합박막의 제조와 반도체 공정에의 응용 =
- Title
- 기능성 플라즈마중합박막의 제조와 반도체 공정에의 응용 =
- Authors
- 김성오
- Issue Date
- 2000
- Publisher
- 인하대학교
- Appears in Collections:
- College of Engineering(공과대학) > Electrical Engineering (전기공학) > Theses(전기공학 석박사 학위논문)
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