플라즈마 중합과 플라즈마 애칭을 이용한 나노미터 단위의 진공 리소그래피 =

Title
플라즈마 중합과 플라즈마 애칭을 이용한 나노미터 단위의 진공 리소그래피 =
Authors
김성오
Keywords
플라즈마
Issue Date
1998
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/17125
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Electrical Engineering (전기공학) > Theses(전기공학 석박사 학위논문)
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