플라즈마중합법에 의해 제작된 유기 박막의 분자구조 및 전자선 레지스트 특성 =

Title
플라즈마중합법에 의해 제작된 유기 박막의 분자구조 및 전자선 레지스트 특성 =
Authors
박종관
Keywords
플라즈마중합법
Issue Date
1995
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/17055
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Electrical Engineering (전기공학) > Theses(전기공학 석박사 학위논문)
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