RF플라즈마법에 의한 박막 작성과 전기적성질에 관한 연구 / =

Title
RF플라즈마법에 의한 박막 작성과 전기적성질에 관한 연구 / =
Authors
박상현
Keywords
RF플라즈마법
Issue Date
1990
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/16942
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Electrical Engineering (전기공학) > Theses(전기공학 석박사 학위논문)
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