경사입사 증착에 의한 나선형 나노구조 광학박막에 관한 연구

Title
경사입사 증착에 의한 나선형 나노구조 광학박막에 관한 연구
Authors
박용준
Keywords
경사입사증착에의한나선형나노구조광학박막에관한연구
Issue Date
2010
Publisher
인하대학교
Abstract
본 논문에서는 경사입사 증착법(oblique angle deposition, OAD)을 이용하여 제작한 지그재그 나노구조의 박막형 위상지연판과 나선형나노구조의 원편광 브래그반사판의 광학적, 구조적 특성에 관해 연구하였다. 또한 지그재그 나노구조와 나선형 나노구조를 이용한 복합적 나노박막소조를 제작하여 디스플레이 분야에 응용이 가능한 원/선편광 조절소자에 관한 연구를 수행 하였다. [Air / helical(H=-1) stack (circular Bra
Description
제 1 장 서론 1 제 2 장 광학박막의 성장과 미세구조 6 2.1 광학박막의 성장 7 2.1.1 박막의 흡착과정 8 2.1.2 박막의 핵 형성과정 9 2.1.3 박막의 섬 형성과정 12 2.1.4 박막의 국지적 섬 합체과정 12 2.1.5 박막의 연속적 성장과정 13 2.2 광학박막의 기둥 미세구조 15 2.2.1 광학박막의 지역구조 모델 15 2.2.2 광학박막의 조밀도 20 제 3 장
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/14866
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College of Natural Science(자연과학대학) > Physics (물리학) > Theses(물리학 석박사 학위논문)
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