적응형 보쉬공정을 통한 깊은 실리콘 식각과 마이크로 구조물의 복제 =

Title
적응형 보쉬공정을 통한 깊은 실리콘 식각과 마이크로 구조물의 복제 =
Authors
조수범
Keywords
실리콘
Issue Date
2005
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/14807
Appears in Collections:
College of Natural Science(자연과학대학) > Physics (물리학) > Theses(물리학 석박사 학위논문)
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