대면적 기판용 배열 유도결합형 플라즈마소스의 특성 분석 및 감광제 식각 =

Title
대면적 기판용 배열 유도결합형 플라즈마소스의 특성 분석 및 감광제 식각 =
Authors
이용규
Keywords
ICP
Issue Date
2000
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/14734
Appears in Collections:
College of Natural Science(자연과학대학) > Physics (물리학) > Theses(물리학 석박사 학위논문)
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