低壓에서 RTP法으로 窒化한 실리콘 酸化膜의 캐리어 트랩特性 =

Title
低壓에서 RTP法으로 窒化한 실리콘 酸化膜의 캐리어 트랩特性 =
Authors
우재운
Keywords
캐리어트랩
Issue Date
1992
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/14668
Appears in Collections:
College of Natural Science(자연과학대학) > Physics (물리학) > Theses(물리학 석박사 학위논문)
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