다결정 실리콘 위에서 급속 열처리법에 의한 Titanium Silicide의 형성 및그 특성 =

Title
다결정 실리콘 위에서 급속 열처리법에 의한 Titanium Silicide의 형성 및그 특성 =
Authors
김영수
Keywords
LPCVD법
Issue Date
1991
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/14646
Appears in Collections:
College of Natural Science(자연과학대학) > Physics (물리학) > Theses(물리학 석박사 학위논문)
Files in This Item:
15148.pdfDownload

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

Browse