열처리 온도에 따른 Pt-Silicide 박막 형성에 관한 연구 =

Title
열처리 온도에 따른 Pt-Silicide 박막 형성에 관한 연구 =
Authors
김영대
Keywords
Sputtering법
Issue Date
1989
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/14624
Appears in Collections:
College of Natural Science(자연과학대학) > Physics (물리학) > Theses(물리학 석박사 학위논문)
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