열처리 조건에 따른 WSi_2_ 막의 구조적, 전기적 특성의 상관관계 =

Title
열처리 조건에 따른 WSi_2_ 막의 구조적, 전기적 특성의 상관관계 =
Authors
김규철
Keywords
Sputtering법
Issue Date
1988
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/14614
Appears in Collections:
College of Natural Science(자연과학대학) > Physics (물리학) > Theses(물리학 석박사 학위논문)
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