열플라즈마 스크러버를 이용한 PFCs가스의 대용량 처리

Title
열플라즈마 스크러버를 이용한 PFCs가스의 대용량 처리
Authors
한성한
Keywords
열플라즈마스크러버를이용한pfcs가스의대용량처리
Issue Date
2010
Publisher
인하대학교
Abstract
PFCs(Perfluorocompounds)가스는 반도체 산업과 디스플레이 산업 등에서 식각 및 세정 등에 널리 이용되고 있다. GWP(Global Warming Potential)가 이산화탄소에 비해 수천에서 수만 배나 높기 때문에 교토의정서와 발리로드맵에 의해 그 배출이 규제되고 있다. 상압에서 열플라즈마를 이용하여 지구온난화 지수가 높은 SF6가스를 처리하였다. 실험은 다양한 조건 하에서 수행하였으며 배출되는 가스는 가스크로마토그래피(GC, Gas
Description
제 1장. 서론 1 1.1. 플라즈마 1 1.2. 플라즈마 공정 4 1.3. PFCs 가스와 처리기술 7 제 2장. 열플라즈마를 이용한 SF6 가스의 lab scale처리 10 2.1 실험 및 열역학적 분석 10 2.1.1. 실험 장치 및 방법 10 2.1.2. 열역학적 평형조성에 따른 반응의 경향성 조사 14 2.2. 실험 결과 및 고찰 16 2.2.1. 순수한 SF6가스의 처리 16 2.2.2. 공기로 희석된 SF6가스의
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/14145
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College of Engineering(공과대학) > Chemical Engineering (화학공학) > Theses(화학공학 석박사 학위논문)
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