비이송식 및 이송식 아크 플라즈마를 이용한 전자재료용 나노분말의 제조/

Title
비이송식 및 이송식 아크 플라즈마를 이용한 전자재료용 나노분말의 제조/
Authors
정다운
Issue Date
2009
Publisher
인하대학교
Abstract
나노크기의 분말은 그것이 가진 광학적, 전기적, 자기적 성질로 인해서 많은 연구의 대상이 되고 있다. 본 연구에서는 현재 많은 분야에서 상용화되고 있는 Sb가 도핑된 SnO₂(ATO) 및 니켈 나노분말을 제조하였다. 비이송식 아크 플라즈마를 이용하여 버블링된 SbCl_(5) 및 SnCl₄를 반응가스인 산소와 함께 플라즈마 반응기 안에서 반응시켜 Sb가 도핑된 SnO₂를 합성하였다. 합성조건으로 원료물질의 몰비, 반응가스인 산소유량, 원료이동가스의 종류를
Description
제 1장 서론 = 1 1.1. 개요 = 1 1.2. 연구의 배경 및 필요성 = 3 1.3. 나노분말을 제조하기 위한 플라즈마 공정 = 5 1.3.1. 비이송식 아크 플라즈마 = 7 1.3.2. 이송식 아크 플라즈마 = 9 1.4. 본 연구의 내용 및 목적 = 11 제 2장 비이송식 열플라즈마를 이용한 ATO 나노분말의 합성 = 15 2.1. 실험 장치 및 방법 = 15 2.2. 실험결과 및 고찰 = 20 2.2.1. 도핑형태의 확인
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/14119
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Chemical Engineering (화학공학) > Theses(화학공학 석박사 학위논문)
Files in This Item:
14407.pdfDownload

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

Browse