고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 :

Title
고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 :
Authors
이장우
Keywords
Zinc oxide
Issue Date
2006
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/14058
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Chemical Engineering (화학공학) > Theses(화학공학 석박사 학위논문)
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