유도 결합 플라즈마를 이용한 자성 박막의 반응성 이온 식각 =

Title
유도 결합 플라즈마를 이용한 자성 박막의 반응성 이온 식각 =
Authors
신별
Issue Date
2005
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/14054
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Chemical Engineering (화학공학) > Theses(화학공학 석박사 학위논문)
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