자성메모리 소자 개발을 위한 자성 박막의 건식 식각 =

Title
자성메모리 소자 개발을 위한 자성 박막의 건식 식각 =
Authors
송영수
Keywords
Magnetic thin film
Issue Date
2004
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/14028
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Chemical Engineering (화학공학) > Theses(화학공학 석박사 학위논문)
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