원거리플라즈마를 이용한 저온 이산화규소박막의 제조 =

Title
원거리플라즈마를 이용한 저온 이산화규소박막의 제조 =
Authors
박영배
Keywords
이산화규소박막
Issue Date
1994
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/13835
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Chemical Engineering (화학공학) > Theses(화학공학 석박사 학위논문)
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