GaAs위에 PECVD방법으로 증착한 텅스텐과 질화 텅스텐박막의 Schottky 특성비교 =

Title
GaAs위에 PECVD방법으로 증착한 텅스텐과 질화 텅스텐박막의 Schottky 특성비교 =
Authors
이세정
Keywords
PECVD
Issue Date
1994
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/12175
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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