BPSG 막 특성에 대한 CVD공정 매개 변수의 효과 =

Title
BPSG 막 특성에 대한 CVD공정 매개 변수의 효과 =
Authors
김윤상
Keywords
APCVD
Issue Date
1990
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/12102
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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