RF Magnetron Sputtering을 이용한 투명전극용 IZO막 제작과 특성 조사/

Title
RF Magnetron Sputtering을 이용한 투명전극용 IZO막 제작과 특성 조사/
Authors
박안나
Keywords
TCO
Issue Date
2007
Publisher
인하대학교
Abstract
(1) PET 기판위에 증착된 IZO 박막의 ZnO 완충층의 두께에 따른 전기적, 광학적 특성 rf 마그네트런 스퍼터링 테크닉에 의하여 고분자재료 (polyethylene terephthalate PET)기판 위에 ZnO을 완충층으로 하는 IZO(IN₂O3-10wt %ZnO)투명전도막을 증착하고, ZnO 완충층의 두께에 따른 IZO막의 전기적, 광학적 성질을 조사하였다. ZnO 완충층의 두께가 90nm일 때, PET 기판 위에 증착된 ZnO/IZO막의
Description
Ⅰ. 서론 = 1 참고문헌 = 5 Ⅱ. 이론적 배경 = 7 2.1 투명전도막 = 7 2.1.1 투명전도막이란 = 7 2.1.2 투명전도막의 특성 = 8 2.1.2.1 전기적 특성 = 8 2.1.2.2 광학적 특성 = 10 2.1.2.3 에칭 특성 = 12 2.1.3 투명전극 재료 = 12 2.1.3.1 산화물(Oxide)기반의 투명전극재료 = 12 2.1.3.2 금속기반의 투명전극재료 = 15 2.1.3.3
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11837
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College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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