MEMS 공정을 이용한 압전형 지문인식센서=

Title
MEMS 공정을 이용한 압전형 지문인식센서=
Authors
조재익
Issue Date
2007
Publisher
인하대학교
Abstract
기계적 응력에 따라 전기적신호를 발현하는 압전 현상 (piezoelectric direct effect)에 의하여 개인의 지문을 인식하는 센서를 구현하였다. 이를 위하여 마이크로 단위의 미세공정을 가능하게 하는 MEMS (Micro electro mechanical system)공정을 사용함으로써 소형 및 경량화 된 센서를 제조 할 수 있었다. Metal alkoxide 원료물질을 이용해 제조한 PZT (Pb(Zr,Ti)O₃) solution으로 500
Description
제 1장. 서론 = 1 제 2장. 이론적 배경 = 3 2.1. 지문인식 시스템의 기본 형태 = 3 2.2. MEMS공정을 이용한 압전형 지문인식센서 = 9 2.3. Sol - Gel 공정 = 19 제 3장. ATILA simulation = 21 3.1. Three-dimensional modeling = 21 3.2. Effect of back side etching = 25 3.3. Harmonic analysis = 28 3.4. Tr
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11814
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College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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