N2O ECR plasma 처리에 의한 Si 웨이퍼 및 ZnO-ALE/Al2O3의 건식세정 =

Title
N2O ECR plasma 처리에 의한 Si 웨이퍼 및 ZnO-ALE/Al2O3의 건식세정 =
Authors
김대규
Keywords
cleaning
Issue Date
2005
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11768
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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