ALD 테크닉에 의한 Al2O3와 TiN박막의 형성 =

Title
ALD 테크닉에 의한 Al2O3와 TiN박막의 형성 =
Authors
홍현석
Issue Date
2004
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11758
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
Files in This Item:
12280.pdfDownload

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

Browse