PECVD 및 고주파 마그네트론 스퍼티 기법을 이용하여 제조한 nc-Si 박막의 나노구조 및 광학적 특성 =

Title
PECVD 및 고주파 마그네트론 스퍼티 기법을 이용하여 제조한 nc-Si 박막의 나노구조 및 광학적 특성 =
Authors
한규호
Issue Date
2003
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11699
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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