정전구동 마이크로 액추에이터의 특성에 관한 연구 =

Title
정전구동 마이크로 액추에이터의 특성에 관한 연구 =
Authors
하태선
Issue Date
2003
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11691
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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