O3를 이용한 ALD방식으로 제조된 Al2O3막의 유전체 특성 =

Title
O3를 이용한 ALD방식으로 제조된 Al2O3막의 유전체 특성 =
Authors
이정우
Issue Date
2003
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11683
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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