Co/TiSi 이중층을 이용한 단결정 Si 기판위의 에피택셜 코발트 실리사이드에 관한 연구 =

Title
Co/TiSi 이중층을 이용한 단결정 Si 기판위의 에피택셜 코발트 실리사이드에 관한 연구 =
Authors
정진중
Issue Date
2002
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11673
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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