리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si표면 위의 Cr 및 Zn 불순물 제거 =

Title
리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si표면 위의 Cr 및 Zn 불순물 제거 =
Authors
이성욱
Issue Date
2001
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11634
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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