축방향 자기장의 주기적 조절을 이용한 유도 결합형 플라즈마의 향상에 관한 연구 =

Title
축방향 자기장의 주기적 조절을 이용한 유도 결합형 플라즈마의 향상에 관한 연구 =
Authors
정재성
Issue Date
2000
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11585
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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