Si 웨이퍼 표면위의 금속오염 제거를 위한 리모트 수소 플라즈마 공정에 관한 연구 =

Title
Si 웨이퍼 표면위의 금속오염 제거를 위한 리모트 수소 플라즈마 공정에 관한 연구 =
Authors
전부용
Issue Date
2000
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11568
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
Files in This Item:
12090.pdfDownload

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

Browse