경제 요소법(BEM)에 의한 위상 변이 마스크의 단차 효과 연구 =

Title
경제 요소법(BEM)에 의한 위상 변이 마스크의 단차 효과 연구 =
Authors
이동훈
Keywords
BEM
Issue Date
1999
Publisher
인하대학교
URI
http://dspace.inha.ac.kr/handle/10505/11549
Appears in Collections:
College of Engineering(공과대학) > Materials Science & Engineering (신소재공학) > Theses(신소재공학 석박사 학위논문)
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